Москва, Зеленоград,
проезд 4922, дом 4, стр. 5,
территория ОАО «ЭЛМА»".

Тел/факс: (495) 988-83-94

E-mail: info@esto-el.ru

О компанииКаталогДокументацияСтатьиПартнерыКонтактыНовости
www.esto-el.ru / Каталог / Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей / Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Серия ELM - инверторы (с встроенными Ключами при мощности до 9 кВт) или Комплекты (инвертор или 2-3 инвертора, с выносными Ключами серии ELS, мощностью выше 18 кВт) электропитания униполярных магнетронных распылителей. Выпускаются мощностью от 1,5 до 62 кВт. Обеспечивают в нагрузке напряжение постоянного тока (DC), или (с ключами) - импульсное напряжение, с регулируемыми частотой и длительностью паузы генерируемых импульсов.

Любой из выходных параметров - ток, напряжение или мощность - регулируемые.

Увеличение мощности достигается применением Комплектов, содержащих ведущий инвертор (Master) и 1-2-х ведомых инверторов (Slaves), до 21кВт каждый, подключаемые к нагрузке через единый униполярный ключ. Или, для «простых» техпроцессов, без Ключей. Динамическая защита от к.з. и "микродуг" сохраняется, но динамика - разная, и явно в пользу применения Ключей.

О преимуществах, обеспечиваемых Ключами - см. далее.

Осциллограммы: Левая - импульсное униполярное напряжение выхода (гол.), с прерыванием тока нагрузки (желт.) в паузах. Правая  - динамика развития тока к.з. (желт., центр), с прерыванием тока и напряжения в нагрузке после дугогашения на время 70...300 мкс.

Модель:

              

          Макс. значения вых. параметров

Типоразмер:

Примечание:

Скачать

Напр., В

Ток, А

Частота, кГц

"ELM-3/600S(-R)"

650

3,5

0/40

G2038

1,5 кВт, пластик,  встр. ключ, водоохл.

.PDF

"ELM-12/600S(-R)"

...520/650

...15/12

0/1-40

19", 4HU

---

7,5 кВт, возд. охл., встр. ключ

"ELM-18/600(-R)" + "ELS-20/650"

...520/650

...22/18

0/1-40

19", 4HU

G2025

9,0 кВт, возд.  охл., выносн. ключ

"ELM-30/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...36/30

0/1-40

19", 4HU

G2038

18,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-36/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...40/36

0/1-40

19", 4HU

G2038

21,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-72/600(-R)" + "ELS-80/650"

...520/650

...80/72

0/1-40

19", 4HU * 2

G2038

42,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-120/600(-R)" + "ELS-120/650"

...520/650

...120/108

0/1-40

19", 4HU * 3

G2038

62,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

Новости
31 августа 2017 г.
Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ"

Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ" Архаткин Евгений Петрович


10 октября 2016 г.
Серии ELMI и ELDI

С января 2017г. ООО "ЭСТО-ЭЛ" начинает серийные поставки Инверторов и Комплектов
серии ELMI (СИМР-HiPIMS) и серии ELDI.
Серия ELMI разработана для сильноточного импульсного магнетронного распыления СИМР
(с "длинными", до 20мс импульсами тока), так и для традиционного HiPIMS режима.
С параметрами импульсов до 2кА и 1250В.
Серия ELDI для сильноточного импульсного диффузного разряда (СДР).
С параметрами импульсов до 4кА и 250В.


01 декабря 2009 г.
"ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40"

Отработана и внедрена в серийное производство серия инверторов электропитания дуговых испарителей - "ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40" (и, как комплект из 2-х инверторов типа "ELA-600" - изделие типа "ELA-1200/40"). Диапазон токов - от 160А до 1200А.  Автомат. поджиг.  Встроенные коммутаторы тока  с системой управления (для протяженных дуговых испарителей).


все новости

Изделия ООО «Эсто-Эл» подвергаются длительной и жесткой проверке, имитирующей их работу в реальных условиях
(в т.ч. на работу при длительных к.з., холостого хода, работу в условиях 100 микродуг/сек).
Осуществляется постоянная «обратная связь» с Пользователями изделий, оперативное реагирование на их дополнительные пожелания.
ООО «Эсто-Эл» выполняло и готово выполнять разработки, аналогичные вышеназванным, и напрямую не связанные с «основной тематикой» фирмы.

О компании | Каталог | Документация | Статьи | Партнеры | Контакты | Новости

© 2010 «ЭСТО-ЭЛ» ООО, Москва, Зеленоград, проезд 4922, дом 4, строение 5 (территория ОАО «ЭЛМА»).
Тел/факс: +7 (495) 988-83-94, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Перепечатка и копирование материалов сайта без разрешения ООО "ЭСТО-ЭЛ" запрещено.

Главная | Карта сайта | Обратная связь