Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей
Серия ELM - инверторы (с встроенными Ключами при мощности до 9 кВт) или Комплекты (инвертор или 2-3 инвертора, с выносными Ключами серии ELS, мощностью выше 18 кВт) электропитания униполярных магнетронных распылителей. Выпускаются мощностью от 1,5 до 62 кВт. Обеспечивают в нагрузке напряжение постоянного тока (DC), или (с ключами) - импульсное напряжение, с регулируемыми частотой и длительностью паузы генерируемых импульсов.
Любой из выходных параметров - ток, напряжение или мощность - регулируемые.
Увеличение мощности достигается применением Комплектов, содержащих ведущий инвертор (Master) и 1-2-х ведомых инверторов (Slaves), до 21кВт каждый, подключаемые к нагрузке через единый униполярный ключ. Или, для «простых» техпроцессов, без Ключей. Динамическая защита от к.з. и "микродуг" сохраняется, но динамика - разная, и явно в пользу применения Ключей.
О преимуществах, обеспечиваемых Ключами - см. далее.
Осциллограммы: Левая - импульсное униполярное напряжение выхода (гол.), с прерыванием тока нагрузки (желт.) в паузах. Правая - динамика развития тока к.з. (желт., центр), с прерыванием тока и напряжения в нагрузке после дугогашения на время 70...300 мкс.
|
Модель:
|
Макс. значения вых. параметров
|
Типоразмер:
|
Примечание:
|
Скачать |
|
Напр., В
|
Ток, А
|
Частота, кГц
|
|
"ELM-3/600S(-R)"
|
650
|
3,5
|
0/40
|
G2038
|
1,5 кВт, пластик, встр. ключ, водоохл.
|
.PDF |
|
"ELM-12/600S(-R)"
|
...520/650
|
...15/12
|
0/1-40
|
19", 4HU
|
---
|
7,5 кВт, возд. охл., встр. ключ
|
|
"ELM-18/600(-R)" + "ELS-20/650"
|
...520/650
|
...22/18
|
0/1-40
|
19", 4HU
|
G2025
|
9,0 кВт, возд. охл., выносн. ключ
|
|
"ELM-30/600(-R)" + "ELS-40/650"
|
...520/650
|
...36/30
|
0/1-40
|
19", 4HU
|
G2038
|
18,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ
|
|
"ELM-36/600(-R)" + "ELS-40/650"
|
...520/650
|
...40/36
|
0/1-40
|
19", 4HU
|
G2038
|
21,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ
|
|
"ELM-72/600(-R)" + "ELS-80/650"
|
...520/650
|
...80/72
|
0/1-40
|
19", 4HU * 2
|
G2038
|
42,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ
|
|
"ELM-120/600(-R)" + "ELS-120/650"
|
...520/650
|
...120/108
|
0/1-40
|
19", 4HU * 3
|
G2038
|
62,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ
|
