Москва, Зеленоград,
проезд 4922, дом 4, стр. 5,
территория ОАО «ЭЛМА»".

Тел/факс: (495) 988-83-94

E-mail: info@esto-el.ru

О компанииКаталогДокументацияСтатьиПартнерыКонтактыНовости
www.esto-el.ru / Статьи / Апробация дуальной магнетронной системы в режиме реактивного напыления оксидных покрытий на новой автоматизированной вакуумной установке ВМС-600/4.

Апробация дуальной магнетронной системы в режиме реактивного напыления оксидных покрытий на новой автоматизированной вакуумной установке ВМС-600/4.

В 3 квартале 2009 года при финансовой поддержке ОАО «Атом-иновации» был заключен договор с ОАО «ЭСТО-ЭЛ» на изготовление комплекта устройств электропитанния дуальной магнетронной распылительной системы для дооснащения новой автоматизированной вакуумной установки ВМС-600/4. В 4 квартале 2009 года на вакуумной установке ВМС-600/4 были проведены пусконаладочные работы и отработка технологических режимов реактивного магнетронного напыления оксидных покрытий (см.рис.1-2).

Дуальное магнетронное распыление (DMS) успешно решает проблемы «исчезающего» анода и пробоев на катоде. Этот метод представляет большой интерес при получении пленок диэлектриков и распылении керамических мишеней. При дуальном магнетронном распылении два одинаковых, либо с противоположными магнитными системами магнетрона, электрически изолированные друг от друга, устанавливаются рядом в одной вакуумной распылительной камере (см. рис.3) и питаются в противофазе среднечастотным импульсным двуполярным напряжением синусоидальной или прямоугольной формы. В таком режиме одну половину периода один магнетрон работает катодом, а другой - анодом. В другую половину периода - наоборот. Мишень магнетрона при реактивном напылении в одну половину периода является катодом и очищается от излишнего диэлектрика. Таким образом, поверхности мишеней поочередно очищаются, что не дает вырасти там толстому сплошному слою диэлектрика, и это позволяет предотвратить «исчезновение» анода и получать гладкие покрытия не содержащие микрокапель на подложке (см. протокол №19).

Точный контроль и управление структурными параметрами покрытия (размером зерен, кристаллической ориентацией, толщинами нанослоев) очень важны при получении многослойных покрытий. В процессе магнетронного распыления многие основные параметры оказывают существенное влияние на свойства осаждаемого покрытия, включая температуру подложки, плотность ионного тока, напряжение смещения, парциальное давление рабочего и реактивного газа. Автоматизированная вакуумная установка ВМС-600/4, дооснащенная комплектом устройств дуальной магнетронной распылительной системы, позволяет гибко в широких пределах проводить настройку перечисленных выше параметров процесса магнетронного напыления и гарантировать тонкую настройку и воспроизводимость химической стехиометрии осаждаемых покрытий (см. рис.4).

Вакуумная установка ВУ-ВМС 600/4. Общий вид.

Рис.1а

Вакуумная камера установки ВУ-ВМС 600/4 с оснасткой и магнетронными модулями.

Рис.1б

Рис.1. Вакуумная установка ВУ-ВМС 600/4:
а) общий вид установки;
б) вакуумная камера с оснасткой и магнетронными модулями.

Инвертор магнетронного распылителя

Рис. 2а

Два инвертора и ключ (дуальный).

Рис. 2б

Рис.2. Комплект устройств электропитанния дуальной магнетронной распылительной системы:
а) инвертор магнетронного распылителя «master» (нижний),
инвертор магнетронного распылителя «slave» (верхний);
б) вид сзади: два инвертора и ключ (дуальный).

Дуальная магнетронная распылительная система.

Рис. 3а

Мишени из магния для реактивного напыления MgO.

Рис. 3б

Рис.3. Дуальная магнетронная распылительная система:
а) мишени из керамики;
б) мишени из магния для реактивного напыления MgO.

Рабочий стол технологического компьютера вакуумной установки ВСМ-600/4.

Рис.4. Снимок рабочего стола технологического компьютера вакуумной установки ВСМ-600/4:
контроль технологических параметров процесса магнетронного напыления.

Дуальный магнетрон с магниевыми мишенями.

Рис.5. Дуальный магнетрон с магниевыми мишенями,
после 3-х часов работы в реактивном режиме получения пленок MgO.

Нагреватель с оснасткой для напыления образцов.

Рис.6. Нагреватель с оснасткой для напыления образцов: 1-молибденованя полоса нагревателя;
2- термопара;
3- медная оснастка с образцами ленты.

 

Протокол № 19 от 15.12.09

Исследования на атомно-силовом микроскопе (АСМ) поверхностной структуры буферного покрытия MgO, нанесенного по дуальной схеме на различные подложки (образцы лент)

Образец № 1: покрытие MgO, время напыления t = 10 мин., подложка - лента из нихрома (ВНИИНМ).

АСМ изображение поверхности покрытия MgO обр. № 1 (х5000).

Рис. 1. АСМ изображение поверхности покрытия MgO обр. № 1 (х5000).

3-D изображение поверхности покрытия образца № 1 (скан 20?20 мкм).

Рис.2. 3-D изображение поверхности покрытия образца № 1 (скан 20х20 мкм).

Вакуумное напыление

Вакуумное напыление представляет собой перенос частиц от источника к напыляемой поверхности. Эта технология активно используется в различных отраслях промышленности. Например, вакуумное напыление является наиболее оптимальным решением для эффективного и безопасного нанесения хрома на различные детали, особенно это касается каких-либо автомобильных аксессуаров. Отсюда пошло понятие хромированная сталь.

Однако технология вакуумного напыления является очень энергозатратной, и во многих европейских странах уже давно превратились в нишевый узкоспециализированный продукт. Большинство компаний заменяют его на более экономное и производственное атмосферное плазменное напыление.

Напыление тонких пленок

Напыление тонких пленок, как правило, производится в условиях полного вакуума, так как они больше всего подходят для получения в результате этого эксперимента микронной плёнки, которую можно использовать как диэлектрик в электромагнитных приборах.

 

Напыление тонких плёнок осуществляется высокотехнологичным оборудованием и устройствами, так как это очень наукоёмкий процесс, требующий применения самых передовых современных технологий.

Многие установки для нанесения тонких плёнок кроме всего прочего предназначены для конструкторских и исследовательских задач, благодаря которым разрабатываются всё новые способы нанесения тонких микронных слоёв на самые рельефные и неудобные поверхности.

Вакуумное магнетронное напыление

Вакуумное магнетронное напыление используется во многих отраслях народного хозяйства, особенно это касается различных архитектурных стёкол, которые обладают некоторыми преимуществами, как с эстетической точки зрения, так и с точки зрения энергосбережения и экономической целесообразности приобретения таких окон.

Благодаря современным технологиям вакуумного магнетронного напыления стало реальностью изготовление стёкол для различных функциональных предназначений. Однако подобная технология стоит не дёшево и вам стоит раскошелиться, чтобы приобрести её.

Досконально изучив вакуумное магнетронное напыление, можно использовать его в самых различных ситуациях и напылять на различные поверхности.

Вакуумные дуговые испарители

Вакуумные дуговые испарители используются в электронике для осуществления различных видов напылений лёгких металлов. Этот процесс может затянуться, если не правильно провести процедуру бомбардировки ионами искомой поверхности.

Распыление метала очень важный процесс в современной электронике. И вакуумные дуговые испарители помогают осуществить его максимально эффективно и быстро, чтобы поскорее выпустить конечный продукт или изделие.

Вакуумные дуговые испарители широко применяются не только в электронике, но и в других отраслях промышленности, таких как энергетика и тяжёлое машиностроение. Это связано с тем, что именно в этих отраслях широко применяется продукция отечественной электроники.

Дуговое напыление в вакууме

Дуговое напыление в вакууме проводится для того, чтобы проще и экономней было разгонять ионы до требуемой для напыления скорости. Требуемая скорость развивается с помощью создания разности потенциалов между напыляемой поверхностью и источником напыления.

Для того, чтобы нормально провести процедуру дугового напыления в вакууме, нужно тщательно подготовить установку напыления, так как любая оплошность может повлечь весьма серьёзные последствия, так как при этом создаётся смертельно опасная разница потенциалов.

Осуществляя дуговое напыление в вакууме, нужно помнить о мерах безопасности, соблюдая которые можно избежать поломки напыляемой установки. Ведь многие знают, что бережное отношение к аппаратуре в состоянии продлить её жизнь на долгие годы вперёд.

Новости
31 августа 2017 г.
Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ"

Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ" Архаткин Евгений Петрович


10 октября 2016 г.
Серии ELMI и ELDI

С января 2017г. ООО "ЭСТО-ЭЛ" начинает серийные поставки Инверторов и Комплектов
серии ELMI (СИМР-HiPIMS) и серии ELDI.
Серия ELMI разработана для сильноточного импульсного магнетронного распыления СИМР
(с "длинными", до 20мс импульсами тока), так и для традиционного HiPIMS режима.
С параметрами импульсов до 2кА и 1250В.
Серия ELDI для сильноточного импульсного диффузного разряда (СДР).
С параметрами импульсов до 4кА и 250В.


01 декабря 2009 г.
"ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40"

Отработана и внедрена в серийное производство серия инверторов электропитания дуговых испарителей - "ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40" (и, как комплект из 2-х инверторов типа "ELA-600" - изделие типа "ELA-1200/40"). Диапазон токов - от 160А до 1200А.  Автомат. поджиг.  Встроенные коммутаторы тока  с системой управления (для протяженных дуговых испарителей).


все новости

Изделия ООО «Эсто-Эл» подвергаются длительной и жесткой проверке, имитирующей их работу в реальных условиях
(в т.ч. на работу при длительных к.з., холостого хода, работу в условиях 100 микродуг/сек).
Осуществляется постоянная «обратная связь» с Пользователями изделий, оперативное реагирование на их дополнительные пожелания.
ООО «Эсто-Эл» выполняло и готово выполнять разработки, аналогичные вышеназванным, и напрямую не связанные с «основной тематикой» фирмы.

О компании | Каталог | Документация | Статьи | Партнеры | Контакты | Новости

© 2010 «ЭСТО-ЭЛ» ООО, Москва, Зеленоград, проезд 4922, дом 4, строение 5 (территория ОАО «ЭЛМА»).
Тел/факс: +7 (495) 988-83-94, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Перепечатка и копирование материалов сайта без разрешения ООО "ЭСТО-ЭЛ" запрещено.

Главная | Карта сайта | Обратная связь