4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Inverters and supply kits for electric potential bias

Inverters and supply kits for electric potential bias

Инверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещения

Серия ELB - это отдельные одноблочные инверторы с встроенными ключами дугогашения или, при мощности выше 9 кВт - Комплекты серии ELB , состоящие из 1-3-х инверторов, один из которых ведущий (Master) и ведомых (Slaves), с единым выносным Ключом.

Мощность - от 1,5 кВт до 62 кВт.

Отличительная черта серии ELB - ступенчатые выходные ВАХи (типа «лестницы»), с 2-х ступенчатой - для одноблочных изделий, и 3-4-х ступенчатыми - для Комплектов. Что позволяет обеспечить достижение оптимальных (как минимальных, так и максимальных) для реальных техпроцессов значений напряжений и токов смещения, при меньшей установленной мощности изделий. Подробнее - см. далее.

Ключи - той же серии ELS, на напряжения до 1250В, с функцией динамической дугозащиты (с временем отключения не более 2 мкс и временем повторного включения не более 70 мкс). Для использования в процессах нанесения полупроводников, диэлектриков, керамик отдельные Комплекты оснащаются Ключами с частотой коммутации 100 кГц и 250 кГц, в том числе с регулируемыми частотой следования импульсов и временем паузы между импульсами.

4-х уровневая дугозащита Ключей обеспечивает выбор оптимальной энергии, привносимой в разряд при дугогашении на различных стадиях процессов. Подробнее - см. далее.

Изделия серии ELB могут без каких-либо доработок обеспечивать проведение бездефектных процессов обработки изделий в тлеющем разряде. Маломощные "ELB-3/300" с ключом 250кГц разработаны для замены ВЧ-смещения столиков в оборудовании плазмохимической обработки.

Все комплекты (с 2009г.) беспечивают работу без снижения заданных режимов при наличии до 100 микродуг/сек.!!!

Назначение изделия:

Модель:

Макс. значения вых. параметров:

Тип кейса:

Примечаиие:

Скачать

Напр., В

Ток, А

 

Устройства и Комплекты
электропитания потенциала
электриче
cкого смещения
(с ключами дугогашения - генераторами паузы):

"ELB-3/300S (-R)"

300

3

G2038

900 Вт, пластик, встр. ключ 300 кГц, вод. охл., д. у.

.PDF

"ELB-7,5/900S (-R)"

30...900

...7,5

19", 4HU

6,0 кВт, встр. ключ  40кГц,  2 ступ. ВАХ

"ELB-15/400(-R)"  + "ELS-15/400"

30...450

...15

19" 4HU

6,0 кВт, встр. ключ  100кГц

"ELB-15/1200(-R)" + "ELS-15/1250"

... 450/...1200

...18/...15

19", 4HU

18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-20/900(-R)"  +  "ELS-20/900"

30...450/450...900

...25/...20

19", 4HU

18,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-50/400(-R)"  +  "ELS-50/650"

3...30/40...400

...80/...52

19", 4HU

21,0 кВт, выносн. ключ, 2 ступ. ВАХ

"ELB-50/1000(-R)"  +  "ELS-50/1000"

400...1000

50...400

3...50

32

52

80

 

19", 4HU * 2

 

32,0 кВт, выносн. ключ, 3 ступ. ВАХ

"ELB-80/1000(-R)"  + "ELS-120/1000"

...1000

300...650

40...300

3...50

...56

...60

...70

...120

 

19", 4HU * 3

56,0 кВт, выносн. ключ, 4 ступ. ВАХ

Инверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещенияИнверторы и Комплекты электропитания потенциала электрического смещения

Инверторы имеют оптимизированные статические вольт-амперные характеристики выхода, допускают изменение типовых ВАХ по требованиям Заказчика. Исключают работу в критичных точках их ВАХ, обеспечивают диагностику внешнего питания, самодиагностику и формирование сигналов тревоги. Обеспечивают автономный и дистанционный режимы управления, регулирование с высокой точностью (±1%) любого выходного параметра - тока, напряжения или мощности.

Имеют аналого-цифровые или сетевые (RS-485) интерфейсы внешнего управления. Некритичны к работе на к.з. или хол. ход.

А также - опции задания и индицирования на цифровом индикаторе частоты коммутации и длительности паузы работы ключа, текущего значения возникновения дуговых микропривязок (n/сек). Выпускаются как герметизированные с водяным охлаждением (маломощные), с принудительным воздушным охлаждением или водяным охлаждением (средней или высокой мощности).

Типичным для процессов регулирования потенциала электрического смещения являются большие токи при малых напряжениях, и большие напряжения при относительно  небольших токах. Например, для установок на базе мощных дуговых испарителей  - до 1000В, и током нагрузки до 80А.    Т.е. что, 80 кВт?

 


 

ООО «Эсто-Эл» решает проблему минимизации устанавливаемой мощности инверторов или комплектов реализацией ВАХ типа «лестница», что оптимально для  реальных процессов смещения.

На рис. справа - типовая статическая ВАХ комплекта смещения "ELB-50/1000", состоящего из 2-х последовательно включенных инверторов - "ELB-50/400" (Master) и "ELB-32/600" (Slave), и выносного ключа.  2-х ступенчатый Master обеспечивает ток до 80А при низких напряжениях (в режиме "Lo"), и до 52А при напряжении до 400В.  Оба инвертора, работая одновременно (от одного ШИМ-регулятора Mastera, ВАХи складываются) обеспечивают напряжение смещения в нагрузке до 1000В при токе до 32А.  «Закрывая» тем самым низковольтное и сильноточное смещение при напылении, среднюю часть, и высоковольтное смещение при малых и средних токах ионной очистки, ионного нагрева. И двумя инверторами, по 21 кВт каждый.

Ключи, входящие в состав комплектов смещения, в отличии от магнетронных систем, и выполняющие функции «мгновенной» дугозащиты, могут иметь (при напылении полупроводников, диэлектриков) или не иметь (при напылении проводящих покрытий) режим частотной коммутации (управляемая функция).

Коммутационная мощность применяемых ключей при смещении также может быть более низкой в сравнении с магнетронными системами (характеристика ток/напряжение имеет вид насыщения по току, отсутствует неконтролируемый рост тока в импульсах).  А это приятно (и дешевле !).

Электрическое смещение

Электрическое смещение – это физическая величина, которая пропорциональна вектору поляризации и вектору напряжённости электрического поля. Эта величина часто применяется при конструировании и разработке различных электромагнитных приборов, которые в дальнейшем активно используются в различных областях народного хозяйства нашей страны.

Расчёт электрического смещения позволит грамотно разработать любой электромагнитный прибор. При неправильном расчёте из строя может выйти какой-либо действительно важный элемент, что может привести к крупномасштабной аварии.

Процедуру грамотного расчёта электрического смещения во всех подробностях преподают в технических вузах нашей страны.

Ионный нагрев

Ионный нагрев необходим для проведения процедуры магнетронного напыления, так как именно в условиях высоких температур напыление проходит максимально эффективно. В дальнейшем поверхность охлаждают, чтобы на ней застыл распылённый слой рассчитанной ранее толщины, которая в свою очередь зависит от разности потенциалов, разгоняющей пучок ионов.

Ионный нагрев осуществляется посредством бомбардировки заряженных частиц напыляемой поверхности, в результате чего она нагревается до температуры магнетронного распыления, отдавая в окружающую среду драгоценные джоули энергии.

Ионный нагрев применяется во многих отраслях народного хозяйства, Однако наиболее эффективен он в электронике.

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback