4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Inverters and supply kits for unipolar magnetron sputtering systems

Inverters and supply kits for unipolar magnetron sputtering systems

Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Серия ELM - инверторы (с встроенными Ключами при мощности до 9 кВт) или Комплекты (инвертор или 2-3 инвертора, с выносными Ключами серии ELS, мощностью выше 18 кВт) электропитания униполярных магнетронных распылителей. Выпускаются мощностью от 1,5 до 62 кВт. Обеспечивают в нагрузке напряжение постоянного тока (DC), или (с ключами) - импульсное напряжение, с регулируемыми частотой и длительностью паузы генерируемых импульсов.

Любой из выходных параметров - ток, напряжение или мощность - регулируемые.

Увеличение мощности достигается применением Комплектов, содержащих ведущий инвертор (Master) и 1-2-х ведомых инверторов (Slaves), до 21кВт каждый, подключаемые к нагрузке через единый униполярный ключ. Или, для «простых» техпроцессов, без Ключей. Динамическая защита от к.з. и "микродуг" сохраняется, но динамика - разная, и явно в пользу применения Ключей.

О преимуществах, обеспечиваемых Ключами - см. далее.

Осциллограммы: Левая - импульсное униполярное напряжение выхода (гол.), с прерыванием тока нагрузки (желт.) в паузах. Правая  - динамика развития тока к.з. (желт., центр), с прерыванием тока и напряжения в нагрузке после дугогашения на время 70...300 мкс.

Модель:

              

          Макс. значения вых. параметров

Типоразмер:

Примечание:

Скачать

Напр., В

Ток, А

Частота, кГц

"ELM-3/600S(-R)"

650

3,5

0/40

G2038

1,5 кВт, пластик,  встр. ключ, водоохл.

.PDF

"ELM-12/600S(-R)"

...520/650

...15/12

0/1-40

19", 4HU

---

7,5 кВт, возд. охл., встр. ключ

"ELM-18/600(-R)" + "ELS-20/650"

...520/650

...22/18

0/1-40

19", 4HU

G2025

9,0 кВт, возд.  охл., выносн. ключ

"ELM-30/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...36/30

0/1-40

19", 4HU

G2038

18,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-36/600(-R)" + "ELS-40/650"

...520/650

...40/36

0/1-40

19", 4HU

G2038

21,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-72/600(-R)" + "ELS-80/650"

...520/650

...80/72

0/1-40

19", 4HU * 2

G2038

42,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

"ELM-120/600(-R)" + "ELS-120/650"

...520/650

...120/108

0/1-40

19", 4HU * 3

G2038

62,0 кВт, вод. охл., выносн. ключ

Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителейИнверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителейИнверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителейИнверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителейИнверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителейИнверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных распылителей

Инверторы серии ELM обеспечивают автономный и дистанционный режимы управления, регулирование с высокой точностью (±1%) любого выходного параметра - тока, напряжения или мощности. Исключают работу магнетронов в критичных точках их ВАХ, обеспечивают диагностику внешнего питания, самодиагностику и формирование сигналов тревоги. Имеют опции задания и индицирования на цифровом индикаторе частоты коммутации и длительности паузы работы ключа, текущего значения возникновения дуговых микропривязок (n/сек).

Инверторы имеют оптимизированные статические вольт-амперные характеристики выхода, позволяющие получать в реальной нагрузке максимальную мощность от значения установленной мощности инверторов, допускают изменение типовых ВАХ по требованиям Заказчика. Оснащаются автономными источниками питания поджига разряда -1250В, 100Вт. Некритичны к работе на к.з. или холостой ход.

Имеют аналого-цифровые или сетевые (RS-485) интерфейсы внешнего управления (в т.ч. единый (Master) для мощных Комплектов). «Штатная» частота коммутации - 40 кГц и 100 кГц (по доп. заказу), длительность паузы - 0/1...10 мкс. Дугозащита - не более 2 мкс. 4-х уровневая защита Ключей оптимизирует мощность, привносимую в разряд при срабатывании защиты (макс. - при тренировке «сырых» мишеней, миним. - для «тонких» процессов).

Выпускаются как герметизированные водоохлаждаемые (маломощные), с принудительным воздушным или водяным охлаждением (средней или высокой мощности).

Все комплекты (с 2009г.) обеспечивают работу без снижения заданных режимов при наличии до 100 микродуг/сек.!!!


Ключи. Встроенные (до 9 кВт) и выносные (выше 18 кВт), входящие в состав инверторов или комплектов, обеспечивают неоспоримые преимущества при использовании изделий для проведения сложных техпроцессов (напыления оксидов, нитридов, керамик, диэлектриков) за счет сверхбыстрой реакции на возникновение и ликвидации условий возникновения дуговых микропривязок. Выносные по функциональному назначению делятся на униполярные - серии ELS, и дуальные - серии ELSD, и входят в состав Комплектов.

Уровни защит. Нарастание тока при развитии дуговой микропривязки в Ключах происходит плавно (осциллограмма 2, см. выше, желт.), и до отсечки имеет вид "треугольника", площадь которого фактически определяет уровень превносимой в разряд энергии за "цикл" дугозащиты. Для эффективного обезгаживания "сырых" мишеней этой энергии требуется много, при проведении различных техпроцессов (в т.ч. и в одном цикле) - разной, или минимальной. Большой "Треугольник" ... минимальный "треугольник" - это и обеспечивается 4-мя уровнями защит Ключа.

Поскольку импульсы тока магнетронов в реальных техпроцессах могут иметь совершенно различные формы (с возрастанием по "трапеции", "треугольнику" ... "экспоненте"), для достижения максимального выходного тока (мощности) инвертора требуется обеспечить соотношение амплитудного значения к среднему току нагрузки "в разы выше". "Штатное" значение для ELS ключей - 2,5....3.

Выбор коммутационной мощности ключа - также и "проблема" Пользователя.

Вышеназванные особенности ключей серии ELS делают их универсальными практически для всех известных технологических применений.

Технологический эффект использования Ключей заключается в оперативном распознавании скорости изменения характера плазменного разряда и проведении сверхбыстрых (с оптимальной, за счет 4-х уровневой защиты, передаваемой энергией в разряд) и необходимых (различных по времени) отключений устройства питания от распылителя. Это предотвращает перерастание возникающих "микродуг" в самостоятельные дуговые привязки, а также устраняет сами условия для возникновения микродуг путем формирования кратковременных прерываний (пауз) в подаче напряжения на магнетрон, с регулируемой длительностью и частотой следования пауз, что обеспечивает вследствии разной подвижности носителей в плазме разрядов снятие электростатических перенапряжений на диэлектрических покрытиях периферии зоны распыления. Следствие - стабильные и бездефектные процессы.

Ключи ООО «Эсто-Эл» герметичные, водяного охлаждения, в пластиковых корпусах. Предназначены для установки вблизи технологических устройств или под ними, допускают сверхжесткие условия эксплуатации (высокие температуры, влажность, пролив воды на корпус устройства). Не требуют снижения выходной мощности при увеличении частоты коммутации пауз. Обеспечивают устойчивую работу системы в любом из режимов регулирования - напряжения, тока или мощности, а также опции задания и индицирования на цифровом индикаторе инвертора частоты коммутации и длительности паузы, индицирование текущего значения возникновения дуговых микропривязок (n/сек).

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback