4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460, Russia

Tel/Fax: +7 (495) 988-8394

E-mail: info@esto-el.ru

About usCatalogDocumentationArticlesPartnersContact informationNews
www.esto-el.ru / Catalog / Inverters and supply kits for dual magnetron sputtering systems

Inverters and supply kits for dual magnetron sputtering systems

Комплекты электропитания дуальных магнетронных распылителей

Комплекты серии ELMD - электропитания дуальных магнетронных систем, состоящие из 2-х инверторов (с встроенными ключами), или 2-х/ 4-х инверторов и выносного дуального Ключа серии ELSD (при мощности выше 9 кВт на канал). Данные системы «игнорируют» эффект исчезающего анода», и применяются для напыления сложных пленок - композитов, диэлектриков, керамик.

Увеличение мощности каждого канала дуальной магнетронной системы (до 42кВт и до 63 кВт на канал) достигается применением комплектов, содержащих для каждого канала ведущий инвертор (Master) и 1-2 ведомых инвертора (Slaves), подключаемых к единому дуальному ключу.

Ключи ELSD обеспечивают режим «одиночных» разнополярных импульсов, и режим «пачечный». Частота - фиксированная. Регулируются для каждого канала длительности пауз между импульсами, а также соотношение длительностей «пачек». Динамика защиты - аналогична униполярным.

Модель:

          Макс. значения вых. параметров

Типоразмер:

Примечание:

Скачать

Напр., В

Ток, А

Частота, кГц

ELMD-12/600S(-R)

...520/650
кажд. канала

...15/12А
на канал

0/1-40

19", 4HU * 2

----

2×7,5кВт/канал, встр. дуал. ключ, одиночн./пачки (соотн. 1:3)

.PDF

ELMD-36/600(-R)

...520/650
кажд. канала

...40/36А
на канал

0/1-40

19", 4HU * 2

G2058

2×21кВт/канал, выносн. дуал. Ключ
(40 кГц, пачки, соотн. 1:3)

Комплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителейКомплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителейКомплекты электропитания дуальных  магнетронных распылителей

Входящие в Дуальные Комплекты инверторы - серии ELM (см. Инверторы и Комплекты электропитания униполярных магнетронных систем". С 4-х уровневой защитой Ключей (серии ELSD), устанавливаемой Masterом Комплектов.

Ключи Дуальные как устройства, исключающие эффект «исчезающего анода» при напылении полупроводников, диэлектриков, керамик, обеспечивают работу дуальных магнетронных систем. Функции дугогашения (также 4 уровня защит) и частотной коммутации - аналогичные. Два независимых силовых канала (подключаемых к двум инверторам) обеспечивают индивидуальность параметров катодов. Ключи кроме этого реализуют одиночный и «пачечный» режимы частотной коммутации, с регулируемым соотношением времен «пачек» в диапазоне 1:1....1:3. Технологический эффект использования - аналогичен униполярным. Как и их конструктивные особенности.

Картинки ниже - осциллограммы токовых импульсов («пачечный» режим) напыления керамики ZrItO2, дуальная система "ELMD-30/600". Изменения формы импульсов и «пачек» (слева-направо) связано с увеличением парциального давления O2. От «трапецеидальных» - в «треугольные», и далее - в экспоненциально-возрастающие» импульсы.

Отношение амплитуды к среднему значению тока катода достигает 5-ти. «Пачечный» режим снижает указанное отношение относительно режим одиночных импульсов, уменьшая необходимую коммутационную мощность Ключа, но и несколько меняет энергетику процесса.

News
01.04.2010
ELI-18/200

The manufacturing of a new multifunctional ion source Inverter of ELI-18/200 type for electric supply of “End Hall” ion sources has been started. In addition to the power supply of main discharge, it has “smart” control system for neutralizer emission, reserve neutralizer control and a double-channel gas flow control subsystem.


all news

OOO "ESTO-EL" Ltd. production undergoes long-term and severe tests, simulating their work in the real conditions (including continuous duty at S/C or at idle mode or operation in conditions of 100 micro arc per second).

Constant "feedback" and prompt response to the comments of our customers is provided.
OOO "ESTO-EL" Ltd. has performed and is willing to go on carrying out the developments, similar to the abovementioned, which are not directly related to the "main activities" of the company.

About us | Catalog | Documentation | Articles | Partners | Contact information | News

© 2010 OOO "ESTO-EL" Ltd.
4, Building 5, Lane 4922, Moscow, Zelenograd,
"ОАО "ELMA" building, 124460
Tel / Fax: +7 (495) 988-8394, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Copying or redistributing any of the copyrighted material of this site is strictly forbidden without written consent of OOO "ESTO-EL" Ltd.

Main | Sitemap | Callback