Москва, Зеленоград,
проезд 4922, дом 4, стр. 5,
территория ОАО «ЭЛМА»".

Тел/факс: (495) 988-83-94

E-mail: info@esto-el.ru

О компанииКаталогДокументацияСтатьиПартнерыКонтактыНовости
www.esto-el.ru / Обзор систем

Обзор систем

Комплекты электропитания дуальных магнетронных распылителей (с встроенными и выносными ключами частотной коммутации)

Комплекты серии ELMD – электропитания дуальных магнетронных систем, состоящие из 2-х инверторов (с встроенными ключами), или 2-х/ 4-х инверторов и выносного дуального Ключа серии ELSD (при мощности выше 9 кВт на канал).

Данные системы «игнорируют» эффект «исчезающего анода»,
и применяются для напыления сложных пленок – композитов, диэлектриков, керамик.

Увеличение мощности каждого канала дуальной магнетронной системы (до 42кВт и до 63 кВт на канал) достигается применением комплектов, содержащих для каждого канала ведущий инвертор (Master) и 1-2 ведомых инвертора (Slaves), подключаемых к единому дуальному ключу.

Ключи ELSD обеспечивают режим «одиночных» разнополярных импульсов, и режим «пачечный».

Назначение изделия

Модель

Макс. значения

вых. параметров:

Напр., В, Ток, А

Тип кейса

Примечание

Скачать PDF

Типа УЗДП

"ELI-8/180 (-R)"

+200(550)

8

G2038

1,5 кВт, пластик, дистанционное управление,
источник питания нейтрализатора 25А/24В

 

"ELI-18/200 (-R)"

+/- 200(550)

20

19", 4HU

4 кВт, нейтрализатор (+ резервная нить) 25В, 30А, Iэм./Iразр.,
управление 2-х канальная система газонапуска

 

Типа УАС (протяженные)

"ELI-0,4/3000 (-R)"

+3000

0,5

G2038

1,2 кВт, пластик, дистанционное управление

 

"ELI-1,3/3000 (-R)"

+3000

1,5

19", 4HU

4 кВт, возможны 2-х ступенчатые ВАХ, опции

 

"ELI-2/3000 (-R)"

+3000

2,0

19", 4HU

6 кВт, возможны 2-х ступенчатые ВАХ, опции

 

"ELI-3/3000 (-R)"

+3000

3,0

19", 4HU

9 кВт, возможны 2-х ступенчатые ВАХ, опции

 

 

Модель

Макс. значения

вых. параметров:

Напр., В, Ток, А

Тип кейса

Примечание

Скачать PDF

Осаждения КОС ( генераторы "псевдосинусоиды" )

"ELF- 20/500 (-R)"
"ELF- 4/500"

-2500

4,0

19", 4HU
19", 4HU

9 кВт, 2-х блочный комплект, 40кГц

 

"ELF- 2/2500 (-R)"

-2500

1,5

19", 4HU

9 кВт, 4-е выходных напряжения, 40кГц, выносной наборный балласт

 

 

Новости
31 августа 2017 г.
Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ"

Новый директор компании "ЭСТО-ЭЛ" Архаткин Евгений Петрович


10 октября 2016 г.
Серии ELMI и ELDI

С января 2017г. ООО "ЭСТО-ЭЛ" начинает серийные поставки Инверторов и Комплектов
серии ELMI (СИМР-HiPIMS) и серии ELDI.
Серия ELMI разработана для сильноточного импульсного магнетронного распыления СИМР
(с "длинными", до 20мс импульсами тока), так и для традиционного HiPIMS режима.
С параметрами импульсов до 2кА и 1250В.
Серия ELDI для сильноточного импульсного диффузного разряда (СДР).
С параметрами импульсов до 4кА и 250В.


01 декабря 2009 г.
"ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40"

Отработана и внедрена в серийное производство серия инверторов электропитания дуговых испарителей - "ELA-160/40", "ELA-300/40", "ELA-600/40" (и, как комплект из 2-х инверторов типа "ELA-600" - изделие типа "ELA-1200/40"). Диапазон токов - от 160А до 1200А.  Автомат. поджиг.  Встроенные коммутаторы тока  с системой управления (для протяженных дуговых испарителей).


все новости

Изделия ООО «Эсто-Эл» подвергаются длительной и жесткой проверке, имитирующей их работу в реальных условиях
(в т.ч. на работу при длительных к.з., холостого хода, работу в условиях 100 микродуг/сек).
Осуществляется постоянная «обратная связь» с Пользователями изделий, оперативное реагирование на их дополнительные пожелания.
ООО «Эсто-Эл» выполняло и готово выполнять разработки, аналогичные вышеназванным, и напрямую не связанные с «основной тематикой» фирмы.

О компании | Каталог | Документация | Статьи | Партнеры | Контакты | Новости

© 2010 «ЭСТО-ЭЛ» ООО, Москва, Зеленоград, проезд 4922, дом 4, строение 5 (территория ОАО «ЭЛМА»).
Тел/факс: +7 (495) 988-83-94, e-mail: info@esto-el.ru
www.esto-el.ru
Перепечатка и копирование материалов сайта без разрешения ООО "ЭСТО-ЭЛ" запрещено.

Главная | Карта сайта | Обратная связь