Партнеры

ЗАО «Ферри Ватт» (г. Казань)

www.magnetron.ru

Один из основных потребителей нашей продукции. Специализируется на разработке и производстве вакуумного оборудования для нанесения функциональных, упрочняющих и декоративных покрытий. Преимущественно использует мощные инверторы и комплекты для электропитания протяженных дуговых испарителей серии ELA, электропитания потенциала электрического смещения серии ELB, мощных магнетронных распылителей серии ELM, средних и мощных протяженных ионных источников серии ELI.

Именно по заказу ЗАО «Ферри Ватт» нашей фирмой впервые разработаны и изготовлены комплекты для магнетронных распылителей мощностью 42кВт типа "ELM-72/600" (до 80А, 650В), смещения типа "ELB-50/900" (до 50А, 1000В), и другие. Введены в практику протяженные дуговые испарители с датчиками контроля положения катодного пятна регулируемой чувствительности. Для осаждения кремний-органики внедрен комплект из 2-х инверторов - генератора «псевдосинусоиды» типа "ELF-4/2500" мощностью 9 кВт. Установки ЗАО «Ферри Ватт» с нашими изделиями успешно работают на многих предприятиях России, стран СНГ, а также в ряде фирм Испании, Кувейта и др. Ценят за надежность изделий и надежность партнерства. Взаимно.

На верхнем снимке: одна из последних разработок - установка с 3 протяженными дуговыми испарителями, смещением 48/1000, ионным источником, тлеющим разрядом.

ООО «МЭШ плюс» (г. Зеленоград)
ФГУП «НПО им. Бочвара» (г. Москва)

www.meshplus.ru, www.bochvar.ru

Постоянные партнеры фирмы. ООО «МЭШ плюс» специализируется на разработке и производстве вакуумного оборудования различного технологического применения. Модернизирует имеющееся оборудование. Используют преимущественно комплекты электропитания униполярных магнетронов средней мощности (типа "ELM-30/600" с ключами), электрического смещения (типа "ELВ-20/900" с  ключами), инверторы электропитания протяженных ионных источников (типа "ELI-1,3/3000"). А также ряд других модификаций.

* Одна из последних разработок - ряд установок (с 3-мя типоразмерами камер), разработанных и изготовленных по техническому заданию ФГУП «НПО им. Бочвара» (см. фото), и предназначенных для процессов высокоскоростного магнетронного напыления многокомпонентных пленок, производства нанокомпозитных покрытий. В 2009г. внедрен комплект электропитания дуальной магнетронной системы (на базе комплекта "ELMD-12/600") для отработки процессов нанесения пленок керамик, оксидов, новых нанокомпозитных материалов.

Установки ООО «МЭШ плюс» с нашими изделиями успешно работают на многих предприятиях России, стран СНГ, а также в ряде фирм США, Бельгии, Турции. Мы являемся основным партнером фирмы по разработке и производству систем управления и электропитания установок типа МАП (ВИАМ), вышеуказанного оборудования (НПО Бочвара).

ФГУП «ВИАМ»(г. Москва)
ОАО «ММП им. В.В. Чернышова» (г. Москва)
ОАО «Электромеханика» (г.Ржев)

www.viam.ru

Предприятия, специализирующиеся на производстве и эксплуатации установок типа МАП, предназначенных для вакуумного нанесения функциональных, коррозионностойких жаропрочных толстопленочных покрытий на поверхность лопаток авиационных турбин. Именно по заказу ФГУП «ВИАМ» впервые разработаны и внедрены 4-х ступенчатые (с ВАХ типа «лестница») инверторы электрического смещения на токи до 50А, с рабочим напряжением от 3В до 1000В. И которые, будучи модернизированными, в настоящее время (с 2007г.) выпускаются как 3-х ступенчатые (до 80А/3...50В - до 50А/50...400В - до 32А/400....1000В) комплекты типа "ELB-50/1000" (2 инвертора + ключ). Поставляемые (до 2008г.) комплекты электропитания дуговых испарителей (750А, 40В), выполненные на базе 2-х инверторов типа Sirion 500 (EWM, Германия), также заменены на оптимизированные - комплекты из 2-х инверторов типа "ELA-600/40"(до 1200А при рабочем напряжении до 40В). 4-ре указанных изделия полностью «закрывают» потребности и новой установки типа «ВИАМ-50», с 4-мя 600А-ми дуговыми испарителями. ОАО «Электромеханика», ОАО «ММП им. В.В.Чернышова», как и ВИАМ - основные потребители комплектов типа "ELB-50/400". Установки ФГУП «ВИАМ» с указанными изделиями успешно работают на специализированных предприятиях России, Китая, Индии.

На снимках: установки МАП-2, ВИАМ-50.

В составе установки серии «Каролина» разработки и производства ООО «ЭСТО-Вакуум» внедрены комплекты электропитания дуальных магнетронов (4-х пар) мощностью до 18кВт на каждый катод пары (типа "ELMD-30/600", с частотой работы дуальных ключей 40кГц). Впервые на реальном процессе внедрен «пачечный» режим работы дуальных ключей.

Впервые (вместо использования ВЧ-генераторов) внедрен комплект электропитания потенциала смещения карусели на базе 6кВт инвертора типа "ELB-15/400" и ключа-формирователя импульсного напряжения частотой 100кГц.

Получены стабильные параметры смещения при напылении диэлектрика (керамики) типа ZrItO2 в течении всего процесса нанесения (4-5 час, до толщин 100мкм).

www.esto-vacuum.ru

ФГУП ВНИИЭФ (г.Саров)
ЗАО «НПП «ЭСТО» (г.Зеленоград)
ООО «ЭСТО-Вакуум» (г.Зеленоград)

www.vniief.ru, www.nppesto.ru, www.esto-vacuum.ru

ВНИИЭФ и другие предприятия - потребители оборудования для производства изделий микроэлектроники - основные потребители маломощных инверторов и комплектов средней мощности. Наиболее популярные - инверторы типа "ELI-0,4/3000-R", "ELI-1,3/3000-R" для ионных источников, типа"ELM-3/600S-R", "ELM-12/600S-R" (с встроенными ключами), "ELM-30/600-R" (с выносным ключом) для магнетронов, типа "ELB-7,5/900S" (с встроенным ключом) для смещения.

По заказу ООО «Эсто-Вакуум» для плазмо-химического оборудования впервые разработан источник потенциала смещения типа "ELB-3/300S", с встроенным 300кГц-м ключом - генератором среднечастотного выходного напряжения.

Другие

ООО «Эсто-Эл» активно сотрудничает с фирмами:

• НПО «Луч» (г.Подольск), ООО «ИЦНТ» (г.Троицк) - основных Пользователей инверторов электропитания ионных источников типа УЗДП. Эти изделия (типа "ELI-8/180") кроме питания основного разряда имеют встроенный источник питания нити нейтрализатора посредством встроенного дуального ключа (что обеспечивает «удвоенную жизнь» нити), а инвертор типа "ELI-18/200" кроме этого - дополнительные опции управления соотношением «ток эмиссии/ток разряда», автоматическое переключение на резервную нить, автономное управление 2-х канальной системой газонапуска.
• ЦНИИТМ (г.Москва) - активно использует в разработках собственного оборудования такие инверторы как "ELI-1,3/3000-R" для ионных источников, "ELM-30/600-R" для магнетронов, "ELB-20/900-R" для смещения.
• ООО «Уралавиаспецтехнология» и др. (г.Уфа) - как разработчики технологий нанесения функциональных покрытий на лопатки газоперекачивающих турбин на базе вакуумной дуги - основные пользователи мощных комплектов питания типа "ELA" и мощного смещения - комплектов типа "ELB-20/900", "ELB-48/1000" (с ключами).
• ОАО «НИТС» - используют 9 кВт-е ключевые инверторы серии "ELM" для нанесения пленок MgO, SiO₂ и др.
• НПО Техномаш (г.Москва) - потребитель мощных инверторов типа "ELM-30/600" с ключами.
• ООО «ЦНТ» (г.Томск) - предпочитает мощное смещение типа "ELB-50/900" с ключами, и другие типы.
• ИП «Белкэпс» (г.Гомель) - успешно (т.е. и безотказно) эксплуатирует в течении 3-х лет более десятка инверторов типа "ELM-30/600".

Среди других партнеров ООО «Эсто-Эл» - более 40 фирм РФ и СНГ, а также ряд фирм Канады, США, Сирии, Испании, Бельгии.